激光器特点
l 长期工作稳定性高
l RS232控制，外部GATE，TRIGGER控制
l 支持PWM功率控制
l LD模块可现场更换
l TEM00基模输出（M2<1.3）
l 体积小，结构紧凑
l 重复频率30kHz-100kHz可调
应用范围
l 薄膜蚀刻
l 材料微加工
l 微孔加工
l 晶圆切割
l 科学研究等
l 激光标记
技术参数
型号 RM355Q-3W
波长 355nm
功率 3W@30KHz
单脉冲能量 100μJ@30kHz
频率 30~100kHz
脉宽 <20ns@30KHz
光斑模式 TEM00 (M2<1.3)
光束直径 0.5±0.1mm
功率稳定性 <3% RMS over 8 hours
脉冲稳定性 <3% RMS over 10mins
光点稳定性 <50μrad
光束发散角 <2mrad (full angle)
光斑圆度 >90%
控制方式 RS232, Gate, Trigger
制冷方式 Air-cooling
偏振方向 Horizontal
偏振比 >100:1
环境温度 15°C ~ 35°C
相对湿度 10% ~ 80%（无结露）
预热时间 <15mins
工作电压 90V ~ 260 |
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