国内厂家销售半导体行业用高纯电子级磷酸三甲酯TMP

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公　司：深圳市旺达康科技有限公司

发布时间：2021年11月29日

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详细说明

电子级磷酸三甲酯TMPO
一、分子式：PO(OCH3)3
二、分子量：140.07
三、理化性质
无色液体，有水果味，熔点-46℃，沸点197℃，密度1.215g/ml。易燃，易溶于水和乙醚，难溶于乙醇。
四、用途
主要用于晶圆制造过程中沉积生成磷硅酸玻璃（PSG）和硼磷硅酸玻璃（BPSG）。是半导体、分立器件、微机电系统（MEMS）制造所需的重要电子化学品。

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