产品描述
PS3L40-080U系列是具有纳米级定位分辨率的高速，多轴，精密纳米定位系统。本系列产品提供*大的多功能性，可以配置XY或XYZ运动并拥有独立的Z/X轴运动产品。可选配内部位置传感器进行闭环，可进行重复的位置测量。
XYZ 产品利用先进的平行运动原理，这意味着所有促动器直接作用在移动平台上。与具有诸如单级叠堆串联运动学的其他压电系统不同，压电叠堆线性平移台形状系数更小、惯性更低，因而可以实现更快的运动。
紧凑型设计，外形尺寸仅有40x40x36.5mm，具有体积小巧，高稳定性，高精度使其非常适合需要低噪声和高速性能的计量应用。适用于空间需求的多轴运动定位场合。参数可根据客户要求定制。
PS3L40-080U压电纳米采用独特的SGS式传感器设计，具有闭环反馈选项，可实现亚纳米级分辨率和高线性度。SGS传感器直接测量位置反馈，从而实现出色的定位精度和可重复性。
产品特性
—XYZ轴纳米定位
—运动范围80μm/轴
—亚纳米范围内的高分辨率
—超紧凑的设计，具有卓越精度性能
选配功能
—可定制安装孔、固定孔位及转接装置
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可定制转接装置
应用领域
—原子力显微镜、扫描探针显微镜
—测量、计量
—光学探针、光学扫描、光束对准
—光纤对接、量子通信技术 |
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光学仪器
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