郑科探KT-Z1650PVD 小型离子溅射仪磁控溅射镀膜仪器

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郑科探KT-Z1650PVD 小型离子溅射仪磁控溅射镀膜仪器

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公　司：郑州科创实验仪器设备有限公司

发布时间：2023年02月15日

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详细说明

该产品为台式磁控溅射镀膜机，能够在非导电或导电不良的样品上涂布金（Au），钯（Pd），铂（Pt）和金/钯（Au / Pd）的薄膜。在较短时间内即可形成具有细粒度的均匀薄膜，使样品适用于扫描电子显微镜（SEM）分析。仪器结构紧凑，全自动控制，设计符合人体工程学，所得结果一致，可重复性高。

离子溅射仪在扫描电镜中应用十分广泛,通过向样品表面喷镀金、铂、钯及混合靶材等金属消除不导电样品的荷电现象,并提高观测效率,另外可以使用喷碳附件对样品进行蒸碳,实现不导电样品的能谱仪元素定性和半定量分析。

磁控溅射优点

(1)沉积速率快,沉积效率高,适合工业生产大规模应用;

(2)基片温度低,适合塑料等不耐高温的基材镀膜;

(3)制备的薄膜纯度高、致密性好、薄膜均匀性好、膜基结合力强;

(4)可制备金属、合金、氧化物等薄膜;

样品台更换简单：标准旋转样品台或选用行星式旋转样品台。标准样品台高度可调、可倾斜、可旋转；行星式旋转样品台为多孔样品带来好的喷金效果。

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