四氟化碳四氟甲烷R14制冷剂生产厂家

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公　司：南京中炼能源有限公司

发布时间：2022年07月28日

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详细说明

四氟化碳，又名四氟甲烷，化学式为CF4，它既可以被视为一种卤代烃（有机物），也可以被视为一种无机化合物，常温常压下为无色气体，不溶于水，溶于苯和氯仿，主要用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺，也用作激光气体、低温制冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。

基本信息
化学式：CF4
分子量：88.004
CAS号：75-73-0
EINECS号：200-896-5

理化性质
熔点：-184℃
沸点：-130℃
临界温度：-45.5℃
临界压力：3.74MPa
折射率：1.113（-53oC）
饱和蒸气压：13.33kPa（-150.7℃）
外观：无色气体
溶解性：不溶于水，溶于苯和氯仿

用途
主要用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺，也用作激光气体、低温制冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。
储存方法
储存于阴凉、通风的不燃气体专用库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与易（可）燃物、氧化剂分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。

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