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ACM200电容薄膜真空计ACM200-13TBA ACM200电容薄膜真空计ACM200-13TBA//ACM200电容薄膜真空计ACM200-13TBA

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公 司: 成都四洋科技有限公司 
发布时间:2024年10月22日
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公 司:成都四洋科技有限公司

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详细说明

    ACM200 电容薄膜压力计,通常安装在真空腔体或管道上,读取实时压力,±15VDC的电源和0 - 10VDC信号输出的,广泛用于半导体工程和真空工业设备。


特点
直接测量方式测量压力
无关气体组分影响
可应用于腐蚀性气体环境,适合于各类制程应用
可搭配Atovac仪表,实时显示
测量范围从10E-4Torr至1000TOrr,覆盖大多数制程压力范围



规格
压力范围(满量程) 1、2、10、100、1000
*低压力 0.01%满量程
精度 ±0.25%读数
可选:±0.15%读数
温度效应
零点
跨度
0.002% 满量程/°C
0.02% 读数/°C
工作环境温度 0℃至50℃
暴露于气体中的材料 铬镍铁合金
泄漏率 1x10-8sec/sec He 
*大压力 310Kpa
电源要求 ±15VDC (±5%) @ 35 mA
输出信号 0 to +10VDC into ≥ 10K Ω load
法兰 8 VCR, NW16K


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