一种膨胀螺栓及使用该膨胀螺栓的探针台
本实用新型涉及一种膨胀螺栓及使用该膨胀螺栓的探针台,探针台包括底座,底座上设有芯片安装座,底座上还设有固定座,固定座上设有针,各固定座通过膨胀螺栓转动安装于底座上,膨胀螺栓包括一端开口的连接套,连接套的一端为盲端,连接套的盲端的端面上设有用于与底座连接的螺纹连接段,连接套的侧壁上沿周向间隔设置有两个以上的竖向切槽以将连接套的侧壁分割成两个以上的弹片,连接套的内腔侧壁具有内螺纹段,连接套中设置有螺柱,螺柱具有与内螺纹段螺纹配合的外螺纹段和用于顶压弹片的锥形柱段。旋拧螺柱可以向外挤压弹片,使弹片抵压在连接套的内腔壁上,连接套通过螺纹连接段转动安装于底座上,使用时可以转动固定座方便拆卸芯片。
精巧型真空腔体测试腔主要用于气体敏感材料或其他对环境敏感性材料中的电信号测试。测试腔体内部装有不锈钢加热承载台，台面为φ30，台面*高可升温到*高400℃。台面四周装有微型3轴可移动钨钢探针，特别适合微小未封装的叉指电极等传感器测试。该腔体设计有进气口和抽真空接口其真空度用机械泵可达＜5Pa分子泵可达＜-3Pa。真空信号连接处使用军工级别真空电极信号接头，保证气密性及抗干扰性能。使用时将需将待检测的器件方在加热台面，探针顶尖处由3轴可移动探针手动调节移动至被测试器件的引脚处，外部信号线连接测试仪器来测试电学信号 |
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实验仪器装置
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