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高温干燥链式隧道炉 工业用隧道设备 多种规格 高温干燥链式隧道炉 工业用隧道设备 多种规格//高温干燥链式隧道炉 工业用隧道设备 多种规格

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公 司: 青岛福润德微电子设备有限公司 
发布时间:2024年09月13日
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公 司:青岛福润德微电子设备有限公司

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详细说明

    设备用途:用于半导体器件烧结、焊接、烘干、管壳气密封装等。

链(带)式烧结炉特点:本设备为气氛保护炉,保护气氛为氢气、氮气、氩气等。
设备具有连续工作性,保证生产效率。
独特的气幕帘结合,确保炉膛与空气隔绝。
多温区控制炉温,方便调整工艺曲线。
链带速度无级连续可调。
根据用户要求可配加湿器

链(带)式烧结炉主要技术指标
带宽:90~350mm
炉膛高度:100~200mm
炉膛宽度:100~370mm
冷却段长:1000~6000mm
温度范围:300~1050℃
等温区长:600~1500mm
控制精度:±2℃
控制段数:4~10段
带速:20~500mm/min
升温时间:90~240min
升温功率:20~120KVA
保护气体:3~5路氮气0~100L/min 1路氢气0~80L/


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