RTP真空退火炉、真空合金炉

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RTP真空退火炉、真空合金炉

RTP真空退火炉、真空合金炉//RTP真空退火炉、真空合金炉

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公　司：青岛晨立电子有限公司

发布时间：2024年10月23日

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详细说明

RTP管式退火炉、真空合金炉用于先进材料需要在高真空、快速升降温、等条件下进行工艺的非标定制设备，可根据客户不同需求定制。

主要技术参数

◆工艺管数量：1管

◆工艺管口径：Φ90-360mm（3～12英寸）

◆结构型式：卧式热壁型

◆工作温度范围：200～1100℃

◆恒温区长度及精度：±1℃/600mm

◆气路系统气密性： 1×10-7pa.m3/s

◆真空度： 3×10-4Pa

◆升温速度： 60度/min

◆降温速度： 60度/min

◆控制方式：工业微机控制

◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制

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