RTP快速退火炉

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RTP快速退火炉

RTP快速退火炉//RTP快速退火炉

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公　司：郑州成越科学仪器有限公司

发布时间：2014年07月09日

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汪经理先生 (经理)

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电　　话： 0371-55199322 传　　真： 0371-86036875 手　　机： 13837189935 地　　址：中国河南郑州市高新区翠竹街6号9幢邮　　编： 450000
公司主页：	http://cy2014bjh.87966.com(加入收藏)

详细说明

RTP快速退火炉的主要技术参数如下
加热元件：卤素电极；
电极数量：12支；
整机功率：7.2KW；
升温速率：200℃/Second；
降温速率：30秒(1000℃ → 400℃)；
*高温度：1100℃；
温度精度：+/- 1℃；
*大样品尺寸：4英寸；
气氛环境：真空、气体（氮气、氩气、氧气）、空气；
真空系统：可根据实际需要选配无油机型泵或者分子泵
应用领域：
-快速热退火
- 快速热氧化
- 快速热氮化
- 硅化
- 扩散
- 化合物半导体退火
- 离子注入后退火
- 电极合金化
- 晶向化和坚化
- 合金熔点分析;
- 薄膜沉积; 等等…

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