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半导体美国BOWMAN X射线荧光膜厚测试仪 半导体美国BOWMAN X射线荧光膜厚测试仪//半导体美国BOWMAN X射线荧光膜厚测试仪

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公 司: 深圳市金东霖科技有限公司 
发布时间:2014年09月28日
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公 司:深圳市金东霖科技有限公司

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详细说明

    是一款可靠的采用X-射线荧光方法和独特的微聚焦X-射线光学方法来测量和分析微观结构镀层的测量系统。
可应用于在线膜厚测量,测氧化物,SiNx,感光保护膜和半导体膜.也可以用来测量镀在钢,铝,铜,陶瓷和塑料等上的粗糙膜层. 薄膜表面或界面的反射光会与从基底的反射光相干涉,干涉的发生与膜厚及折光系数等有关,因此可通过计算得到薄膜的厚度.光干涉法是一种无损,精确且快速的光学薄膜厚度测量技术,薄膜测量系统采用光干涉原理测量薄膜厚度。


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