供应韩国MAT-PECVD电加热水洗式尾气处理设备

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供应韩国MAT-PECVD电加热水洗式尾气处理设备_西能光伏科技有限公司_供应韩国MAT-PECVD电加热水洗式尾气处理设备

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公　司：西能光伏科技有限公司

发布时间：2024年06月12日

有效期：2024年12月12日

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宋强伟先生 (销售)

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电　　话： 029-88691633 传　　真： 029-68558163 手　　机： 18706779283 地　　址：中国陕西西安市西安高新区科技路西口都市印象18座9层邮　　编： 710075
公司主页：	http://qiangwei1013.87966.com(加入收藏)

详细说明

    韩国MAT尾气处理设备（Scrubber）适用于：薄膜太阳能电池、液晶显示器等PECVD制程、半导体、微电子中产生的废气.
处理的气体包括：SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O 等。
主要有以下优点：
1. 整机设计美观, 安全标准。
2．拥有处理量特大﹑效率高﹑及长时间运转。
3．操作容易上手、保养简单快速、零料件经久耐用，性价比高
4．燃烧反应室可定时自动清洁, 长时间运转效率稳定。
System type
    Heat-Wet

Features
   * Easy Maintenance : Long PM term
   * Vertical structure : Strong for powder clogging
   * Reduced footprint
   * High performance

Capacity & Dimensions
    500SLM
   700mm(W)x850mm(D)x1610mm(H)

Utility
    Power(220V), CDA, N2, Water, Drain, Exhaust

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