SH 系列空心热阴极等离子镀膜机电气总成
特点： 本系统用于以空心热阴极等离子电子束蒸发源（HCD枪）实现金属材料蒸发的真空镀膜设备，系统的电源部分全部采用高频开关技术，相比传统的可控硅（GTO）及接触调压器控制显示出无比优越的性能，系统集成度、工作效率及稳定性极大提高。
系统组成
真空计 HY9940C（清华大学电子工程系）测量范围覆盖大气到镀膜机的极限真空值
质量流量控制 FLOW-1型四路气体控制，可实现各种气体之间的独立或比例控制
机组控制 提供开机、装具及镀膜结束等工作流程所需的对设备主机操 控机构，并显示相应单元工作状态
电源控制 调节镀膜所需电源参数，控制镀膜流程各电源启停时序
引束电源 [SOLICITATION]用于热空心阴极产生等离子体电子束的诱导电源
主束电源 [DISCHARGE]用于维持热空心阴极产生等离子体电子束的工作电源，此高密度等离子体电子束轰击靶材使其蒸发
加速电源 [ACCELERATE]用于提供工件负偏压，提高粒子运动能量，增加膜层附着力
聚焦电源 [MAGNETIC COIL]用于聚焦及偏转电子束，修正电子束与靶材 的位置关系
枪集束电源 [GUN COIL]用于初步聚焦电子枪电子束
使用环境 环境温度 0-40℃
环境湿度 相对湿度≤85％
空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好
冷却水 清洁 不含矿物质及其他可溶性物质
水温 15-25℃
压力 0.15±0.05Mpa |
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